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激光調阻機
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激光調阻機

LTR 系列激光調阻機是長春光華微電子設備工程中心有限公司的榮譽產品,具有18年的發展歷程。激光調阻機是先進的現代化片式電阻阻值修調設備,采用無機械接觸式的激光加工工藝,具備生產速度快(80萬只/小時),調阻精度高(1%、0.1%)等優點,在微電子行業廣泛應用。該產品是集成光、機、電、算于一體的現代化高精密工業設備,修調阻值覆蓋范圍5mΩ~200MΩ,具有L-cut、II-cut、Z-cut、S-cut等26種光刻刀形,主要用于生產厚膜、薄膜、金屬膜、功能電路等各種尺寸規格(01005、0201、0402、0603、0805、1206等)的片阻產品。光華公司具有完全的自主知識產權,可以根據客戶要求定制機型。
關鍵詞:
激光
ccd
精度
測量
定位
192
10
240
4t--4line
288
零售價
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市場價
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產品編號
數量
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所屬分類
激光調阻機
1
詳細介紹
參數

LTR 系列激光調阻機是長春光華微電子設備工程中心有限公司的榮譽產品,具有18年的發展歷程。激光調阻機是先進的現代化片式電阻阻值修調設備,采用無機械接觸式的激光加工工藝,具備生產速度快(80萬只/小時),調阻精度高(1%、0.1%)等優點,在微電子行業廣泛應用。該產品是集成光、機、電、算于一體的現代化高精密工業設備,修調阻值覆蓋范圍5mΩ~200MΩ,具有L-cut、II-cut、Z-cut、S-cut等26種光刻刀形,主要用于生產厚膜、薄膜、金屬膜、功能電路等各種尺寸規格(01005、0201、0402、0603、0805、1206等)的片阻產品。光華公司具有完全的自主知識產權,可以根據客戶要求定制機型。

 

LTR420/530系列 激光調阻機技術指標

 

型號

LTR420D

LTR420E

LTR420F

LTR530A

LTR530B

基片型號

0402,0603

0201,0402

0805, 1206

0603,0805

0402

應用

厚膜

厚膜

超低阻

薄膜

薄膜

激光器功率

6W

6W

6W

3W

3W

擴束器

2—8

2—8

2—8

2—8

2—8

Fθ透鏡焦距

163mm

163mm

163mm

100mm

100mm

光斑直徑

25μm--35μm

25μm--35μm

25μm--35μm

8μm--12μm

8μm--12μm

掃描分辨率

1μm

1μm

1μm

1μm

1μm

掃描定位精度

±4μm

±4μm

±4μm

±2.5μm

±2.5μm

圖像監視

CCD×1

CCD×1

CCD×1

CCD×1

CCD×1

圖像定位

 

CCD×1

 

 

CCD×1

圖像定位精度

 

±3μm

 

 

±3μm

測量范圍

1Ω---300M

1Ω---300M

5mΩ---100Ω

1Ω---300M

1Ω---300M

測量響應時間

中阻區:18μs

測量分辨率

中阻區:0.005%

測量重復精度

中阻區: ±0.01%

測量精度

低阻區:±0.02%±(1%/R)( R< 50Ω); 中阻區:±0.02%; 高阻區: ±0.02%±0.02%每MΩ( R>250KΩ)

調阻控制精度

±5% ~ ±1%,

±5% ~ ±1%

±5% ~ ±1%

±5%~ ±0.1%

±5%~ ±0.1%

測量通道

192/240/288

192/240/288

192/240/288

192/240/288

192/240/288

探針形式

2/4T--4Line

2/4T--4Line

2/4T--4Line

2/4T--4Line

2/4T--4Line

載臺分辨率

1μm

1μm

1μm

1μm

1μm

載臺重復定位精度

±5μm

±5μm

±5μm

±5μm

±5μm

載臺定位精度

±10μm

±10μm

±10μm

±10μm

±10μm

 

 

 

 

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