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紅外激光劃片機
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紅外激光劃片機

AS113S系列激光劃片機是0201片式電阻制程中的專用設備。它適合小尺寸陶瓷基板的劃線制程需求,通過高精密直線定位平臺配合高功率激光器,實現高效、穩定的全自動劃線。
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所屬分類
激光劃片機
1
詳細介紹
參數

AS113S系列激光劃片機是0201片式電阻制程中的專用設備。它適合小尺寸陶瓷基板的劃線制程需求,通過高精密直線定位平臺配合高功率激光器,實現高效、穩定的全自動劃線。
本設備具備高精度的視覺對位系統,通過俯視和仰視相機可以實現正面和反面劃線,并保證兩面的劃線重合度。

1、主要指標

工作范圍

X/Y軸行程

mm

250/200

基片尺寸

mm

80*80(可選)

劃線參數

劃線速度

mm/s

400

劃線深度

μm

20-150

光學系統

光斑尺寸

μm

20

激光波長

nm

1070

激光功率

w

100

調焦精度

μm

<2

工作臺

定位精度

μm

<1.5

旋轉精度

1

視覺系統

圖像系統

 

雙CCD系統

控制系統

PCI板卡

 

8軸高速控制卡

機械參數

長/寬/高度

m

1.3/1.1/1.5

設備重量

kg

980

2、產品特點

主要參數

性能描述

備注

劃片質量

對0201劃片,I分、II分劃槽形貌符合氣化層、熱熔層深度1:1;深度、寬度等需達到技術要求;劃片后破片率<0.1%;
斷線率<0.6%;劃槽截面無崩碎。

見附圖1

劃片工藝

1.火山口高度0-4μm可調。

2.火山口呈現凹槽形貌,凹槽深度>3μm。

產能

以0201型號為例,連續生產完成正反面劃線產能不少于380片/天。

 

精度

1.整機劃片精度小于±5μm。

2.線間距pitch值誤差小于±0.5μm。

3.劃片后重合度≤5μm。

 

器件選型

1.使用西進劃片機等同激光器(飛博)。

2.直線平臺采用大銀、東方馬達等知名品牌。

3.質保期3年以上。

 

功能配置

1.劃片機自帶圖形編輯功能,操作簡單方便,并能提供數據輸入錯誤提示、參數異常提醒等功能。

2.關鍵參數加入權限管理,避免誤操作發生。

 

穩定性

劃片機穩定性好,調試成功后質量及工藝可長期穩定維持,基本無正常操作情況下停機,維護一次可工作一個月以上。

 

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