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晶圓探針臺
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晶圓探針臺
GPS1200晶圓測試探針臺是晶圓探針檢測的專用設備。它能夠滿足12英寸、8英寸晶圓的測試需求，通過高精度定位平臺、高剛性晶圓承載臺和高分辨率仰視相機（探針相機）及俯視相機（晶圓相機），實現全自動上下晶圓料片、對針和高精度扎針，與測試機配合完成對晶圓上集成電路的品質檢測。
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